VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
GaP <111> exposed fract. bulk, 1 min 3KV etch 90T
1

NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5

GaP <111> exposed fract. bulk, 1 min 3KV etch 90T
2003
5
10
13
58
44
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-0.977517
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
2
4.00E-06
0
0
0
0
2048
45
27384
0.0603073
0.288006
2990
0.288006
2955
0.287198
2947
0.286393
3040
0.285593
3013
0.284797
3050
0.284004
2998
0.283215
3031
0.28243
2908
0.281648
3059
0.280871
3141
0.280097
3130
0.279326
3037
0.278559
3154
0.277796
3128
0.277037
3129
0.276281
3234
0.275528
3272
0.274779
3162
0.274034
3052
0.273291
3255
0.272553
3247
0.271818
3248
0.271086
3317
0.270357
3334
0.269632
3207
0.26891
3190
0.268192
3289
0.267477
3369
0.266765
3392
0.266056
3359
0.265351
3240
0.264648
3342
0.263949
3303
0.263253
3451
0.262561
3302
0.261871
3411
0.261184
3393
0.260501
3282
0.25982
3353
0.259143
3539
0.258469
3405
0.257797
3431
0.257129
3515
0.256464
3423
0.255801
3401
0.255142
3600
0.254485
3403
0.253831
3536
0.25318
3580
0.252532
3522
0.251887
3557
0.251245
3630
0.250605
3600
0.249969
3629
0.249335
3614
0.248703
3605
0.248075
3657
0.247449
3749
0.246826
3671
0.246206
3672
0.245588
3750
0.244973
3690
0.24436
3718
0.243751
3591
0.243143
3728
0.242539
3732
0.241937
3776
0.241337
3796
0.24074
3741
0.240146
3711
0.239554
3785
0.238964
3708
0.238377
3763
0.237793
3829
0.237211
3974
0.236631
3919
0.236054
3792
0.235479
3848
0.234907
3968
0.234337
3860
0.23377
3904
0.233204
4046
0.232641
3912
0.232081
4080
0.231523
4060
0.230967
4024
0.230413
4135
0.229861
3982
0.229312
4181
0.228765
4090
0.228221
4095
0.227678
4090
0.227138
4034
0.2266
4085
0.226064
4148
0.22553
4147
0.224999
4109
0.224469
4116
0.223942
4255
0.223417
4116
0.222894
4242
0.222373
4281
0.221854
4239
0.221337
4212
0.220822
4493
0.22031
4424
0.219799
4273
0.21929
4313
0.218784
4319
0.218279
4506
0.217777
4457
0.217276
4390
0.216777
4411
0.216281
4411
0.215786
4448
0.215293
4377
0.214802
4622
0.214313
4470
0.213826
4541
0.213341
4599
0.212857
4402
0.212376
4515
0.211896
4613
0.211419
4713
0.210943
4616
0.210469
4746
0.209997
4706
0.209526
4616
0.209058
4664
0.208591
4680
0.208126
4759
0.207663
4826
0.207201
4834
0.206741
4783
0.206283
4894
0.205827
4786
0.205373
4753
0.20492
4813
0.204469
4858
0.204019
4971
0.203572
4895
0.203126
5097
0.202681
4896
0.202239
5043
0.201798
4888
0.201358
5012
0.200921
5025
0.200484
5038
0.20005
5028
0.199617
5024
0.199186
5165
0.198756
5097
0.198328
5151
0.197901
5034
0.197477
5058
0.197053
5222
0.196631
5101
0.196211
5182
0.195792
5246
0.195375
5211
0.194959
5392
0.194545
5198
0.194132
5320
0.193721
5395
0.193312
5444
0.192903
5270
0.192497
5480
0.192091
5485
0.191688
5314
0.191285
5426
0.190884
5520
0.190485
5383
0.190087
5558
0.18969
5487
0.189295
5648
0.188901
5553
0.188509
5799
0.188118
5707
0.187728
5693
0.18734
5640
0.186953
5676
0.186568
5746
0.186184
5778
0.185801
5789
0.185419
5830
0.185039
5867
0.184661
5811
0.184283
5887
0.183907
5852
0.183532
5827
0.183159
5941
0.182787
5970
0.182416
6142
0.182046
5905
0.181678
6014
0.181311
6020
0.180945
6040
0.180581
6159
0.180217
6250
0.179855
6230
0.179495
6193
0.179135
6130
0.178777
6159
0.17842
6287
0.178064
6220
0.177709
6323
0.177356
6216
0.177004
6296
0.176653
6447
0.176303
6417
0.175954
6397
0.175607
6256
0.175261
6517
0.174916
6292
0.174572
6564
0.174229
6592
0.173887
6542
0.173547
6488
0.173207
6699
0.172869
6655
0.172532
6526
0.172196
6693
0.171861
6706
0.171528
6651
0.171195
6699
0.170864
6993
0.170533
6683
0.170204
6696
0.169876
6853
0.169548
6795
0.169222
6833
0.168897
6775
0.168574
6896
0.168251
6942
0.167929
6968
0.167608
7096
0.167288
6935
0.16697
7078
0.166652
6887
0.166336
7048
0.16602
7196
0.165706
7281
0.165392
7254
0.16508
7095
0.164768
7232
0.164458
7132
0.164148
7237
0.16384
7399
0.163532
7280
0.163226
7332
0.16292
7288
0.162616
7239
0.162312
7355
0.16201
7586
0.161708
7476
0.161407
7473
0.161108
7419
0.160809
7535
0.160511
7636
0.160214
7641
0.159918
7616
0.159623
7665
0.159329
7593
0.159036
7690
0.158744
7695
0.158453
7756
0.158162
7761
0.157873
7774
0.157584
7960
0.157297
7756
0.15701
7861
0.156724
7997
0.156439
8016
0.156155
8101
0.155872
7938
0.15559
8031
0.155308
8124
0.155028
8252
0.154748
8013
0.154469
8178
0.154191
8001
0.153914
8110
0.153638
8078
0.153362
8355
0.153088
8272
0.152814
8352
0.152541
8303
0.152269
8319
0.151998
8424
0.151727
8665
0.151458
8425
0.151189
8646
0.150921
8628
0.150654
8721
0.150388
8918
0.150122
8746
0.149858
8829
0.149594
8900
0.149331
8995
0.149068
8754
0.148807
8891
0.148546
8906
0.148286
8881
0.148027
8999
0.147768
9067
0.147511
8877
0.147254
9097
0.146998
9113
0.146742
9093
0.146488
9222
0.146234
9194
0.145981
9143
0.145729
9344
0.145477
9301
0.145226
9318
0.144976
9225
0.144727
9296
0.144478
9554
0.14423
9392
0.143983
9383
0.143737
9447
0.143491
9770
0.143246
9717
0.143002
9512
0.142758
9625
0.142515
9730
0.142273
9809
0.142032
9875
0.141791
9779
0.141551
9941
0.141312
9983
0.141073
9900
0.140835
10318
0.140598
10086
0.140361
10148
0.140125
10109
0.13989
10136
0.139656
10308
0.139422
10192
0.139189
10267
0.138956
10388
0.138724
10380
0.138493
10600
0.138262
10462
0.138032
10698
0.137803
10893
0.137575
10821
0.137347
10822
0.137119
10911
0.136893
11137
0.136667
11118
0.136441
10988
0.136217
11089
0.135993
10937
0.135769
10848
0.135546
10810
0.135324
10970
0.135103
11051
0.134882
11132
0.134661
11148
0.134441
11172
0.134222
11419
0.134004
11294
0.133786
11471
0.133569
11792
0.133352
11505
0.133136
11727
0.13292
11615
0.132706
11584
0.132491
11333
0.132278
11431
0.132064
11528
0.131852
11520
0.13164
11568
0.131429
11666
0.131218
11830
0.131008
11944
0.130798
11922
0.130589
11833
0.130381
11803
0.130173
12044
0.129965
11890
0.129759
11748
0.129552
12195
0.129347
11950
0.129142
12199
0.128937
12268
0.128733
12240
0.12853
12271
0.128327
12651
0.128125
12556
0.127923
12808
0.127722
12904
0.127521
12772
0.127321
12891
0.127121
12965
0.126922
12873
0.126723
13138
0.126525
13001
0.126328
12945
0.126131
12958
0.125935
13258
0.125739
13331
0.125543
13097
0.125348
13392
0.125154
13455
0.12496
13459
0.124767
13548
0.124574
13893
0.124382
13823
0.12419
13973
0.123999
13956
0.123808
13527
0.123618
13447
0.123428
13369
0.123239
13545
0.12305
13724
0.122862
13731
0.122674
13874
0.122487
13769
0.1223
13487
0.122114
12943
0.121928
12599
0.121742
12225
0.121558
12228
0.121373
11944
0.121189
11846
0.121006
11886
0.120823
11813
0.12064
11753
0.120458
12210
0.120277
11918
0.120096
12285
0.119915
12255
0.119735
12162
0.119555
12126
0.119376
12341
0.119197
12340
0.119019
12234
0.118841
12433
0.118664
12069
0.118487
12143
0.118311
12105
0.118135
12251
0.117959
12245
0.117784
12156
0.117609
12429
0.117435
12183
0.117261
12041
0.117088
11827
0.116915
11707
0.116742
11439
0.11657
11719
0.116399
11497
0.116228
11412
0.116057
11729
0.115887
11717
0.115717
11715
0.115547
11719
0.115378
11698
0.11521
12219
0.115041
11898
0.114874
12180
0.114706
12228
0.114539
12363
0.114373
12375
0.114207
12326
0.114041
12386
0.113876
12562
0.113711
12709
0.113546
12731
0.113382
12881
0.113219
13058
0.113055
13025
0.112893
13233
0.11273
13441
0.112568
13422
0.112406
13730
0.112245
13846
0.112084
13834
0.111924
13762
0.111764
13882
0.111604
13746
0.111445
13831
0.111286
13911
0.111128
13903
0.110969
13929
0.110812
13833
0.110654
14063
0.110497
14312
0.110341
14353
0.110185
14363
0.110029
14942
0.109873
15578
0.109718
16370
0.109564
17251
0.109409
16692
0.109255
15378
0.109102
14298
0.108949
13528
0.108796
13511
0.108643
13480
0.108491
13681
0.108339
14085
0.108188
14837
0.108037
15445
0.107886
14785
0.107736
13768
0.107586
12964
0.107437
12443
0.107287
12264
0.107139
11814
0.10699
11452
0.106842
11393
0.106694
11102
0.106547
11081
0.1064
11195
0.106253
11209
0.106106
11110
0.10596
11131
0.105815
11804
0.105669
12508
0.105524
12916
0.105379
13169
0.105235
12552
0.105091
11784
0.104947
11154
0.104804
10911
0.104661
10810
0.104518
10760
0.104376
11091
0.104234
11330
0.104092
10935
0.103951
10875
0.10381
10737
0.103669
10316
0.103529
10106
0.103389
9998
0.103249
9930
0.10311
9953
0.102971
9959
0.102832
10165
0.102693
9956
0.102555
10091
0.102418
10041
0.10228
10083
0.102143
10318
0.102006
10217
0.10187
10308
0.101733
10281
0.101597
10509
0.101462
10363
0.101327
10675
0.101192
10685
0.101057
10988
0.100923
11039
0.100789
11213
0.100655
11379
0.100521
11492
0.100388
11280
0.100255
11544
0.100123
11569
0.0999906
11612
0.0998586
11545
0.099727
11539
0.0995957
11822
0.0994646
11859
0.0993339
11786
0.0992034
11985
0.0990732
12328
0.0989434
12609
0.0988138
12711
0.0986845
13133
0.0985555
13591
0.0984268
13840
0.0982984
14296
0.0981702
14487
0.0980424
14293
0.0979148
14080
0.0977875
13614
0.0976605
13288
0.0975338
13045
0.0974074
12625
0.0972812
12447
0.0971554
12554
0.0970298
12746
0.0969044
12734
0.0967794
12966
0.0966546
12503
0.0965302
13432
0.0964059
15428
0.096282
21771
0.0961583
27384
0.0960349
21933
0.0959118
16031
0.095789
14840
0.0956664
14533
0.0955441
11210
0.095422
8795
0.0953002
8168
0.0951787
7827
0.0950575
7986
0.0949365
7945
0.0948158
7986
0.0946953
7876
0.0945751
7637
0.0944552
7499
0.0943355
7116
0.0942161
6776
0.094097
6589
0.0939781
6362
0.0938594
6462
0.093741
6229
0.0936229
6610
0.093505
6655
0.0933874
6988
0.0932701
6679
0.0931529
7242
0.0930361
9619
0.0929195
13817
0.0928031
14028
0.092687
9888
0.0925712
7447
0.0924555
6771
0.0923402
5654
0.0922251
4444
0.0921102
3800
0.0919956
3689
0.0918812
3529
0.091767
3436
0.0916531
3301
0.0915395
3283
0.0914261
3388
0.0913129
3273
0.0912
3348
0.0910873
3277
0.0909748
3231
0.0908626
3386
0.0907506
3425
0.0906389
3356
0.0905274
3168
0.0904161
3122
0.0903051
3253
0.0901943
3203
0.0900837
3461
0.0899734
3462
0.0898632
3283
0.0897534
3227
0.0896437
3190
0.0895343
3188
0.0894251
3055
0.0893162
3118
0.0892074
3091
0.0890989
2970
0.0889906
3108
0.0888826
3091
0.0887747
2978
0.0886671
3050
0.0885598
3102
0.0884526
3061
0.0883457
3162
0.0882389
3147
0.0881324
3068
0.0880262
3047
0.0879201
3173
0.0878143
3132
0.0877087
3206
0.0876033
3142
0.0874981
3160
0.0873931
3194
0.0872884
3068
0.0871838
3237
0.0870795
3291
0.0869754
3175
0.0868715
3141
0.0867678
3242
0.0866643
3019
0.0865611
3226
0.086458
3159
0.0863552
3210
0.0862526
3268
0.0861501
3276
0.0860479
3283
0.0859459
3186
0.0858441
3242
0.0857425
3229
0.0856411
3199
0.08554
3138
0.085439
3271
0.0853382
3260
0.0852376
3351
0.0851373
3295
0.0850371
3426
0.0849372
3435
0.0848374
3510
0.0847378
3487
0.0846385
3279
0.0845393
3313
0.0844404
3247
0.0843416
3098
0.084243
3272
0.0841447
3235
0.0840465
3160
0.0839485
3278
0.0838507
3313
0.0837532
3322
0.0836558
3302
0.0835586
3222
0.0834616
3417
0.0833648
3276
0.0832682
3275
0.0831717
3411
0.0830755
3261
0.0829795
3347
0.0828836
3342
0.0827879
3418
0.0826925
3369
0.0825972
3394
0.0825021
3435
0.0824072
3502
0.0823125
3374
0.0822179
3412
0.0821236
3480
0.0820294
3391
0.0819354
3456
0.0818416
3460
0.081748
3496
0.0816546
3533
0.0815614
3612
0.0814683
3531
0.0813754
3576
0.0812827
3541
0.0811902
3590
0.0810979
3580
0.0810057
3485
0.0809137
3548
0.0808219
3560
0.0807303
3637
0.0806389
3711
0.0805476
3611
0.0804565
3620
0.0803656
3687
0.0802749
3533
0.0801843
3668
0.0800939
3683
0.0800037
3571
0.0799137
3748
0.0798238
3754
0.0797341
3684
0.0796446
3686
0.0795553
3781
0.0794661
3897
0.0793771
3685
0.0792883
3762
0.0791996
3838
0.0791111
3877
0.0790228
3990
0.0789346
3932
0.0788466
3832
0.0787588
3961
0.0786712
3990
0.0785837
3933
0.0784964
3962
0.0784092
3977
0.0783222
3902
0.0782354
3991
0.0781488
3920
0.0780623
3898
0.077976
3904
0.0778898
3936
0.0778038
3981
0.077718
4384
0.0776323
4401
0.0775468
4777
0.0774614
4967
0.0773762
4083
0.0772912
3941
0.0772063
4055
0.0771216
4101
0.0770371
4123
0.0769527
4118
0.0768684
4199
0.0767844
4167
0.0767005
4181
0.0766167
4036
0.0765331
4004
0.0764496
4148
0.0763663
4158
0.0762832
4205
0.0762002
4186
0.0761174
4204
0.0760347
4138
0.0759522
4288
0.0758698
4242
0.0757876
4250
0.0757056
4252
0.0756237
4266
0.0755419
4351
0.0754603
4334
0.0753789
4399
0.0752975
4342
0.0752164
4393
0.0751354
4414
0.0750545
4398
0.0749738
4396
0.0748933
4412
0.0748129
4378
0.0747326
4597
0.0746525
4669
0.0745725
4648
0.0744927
4708
0.074413
4777
0.0743335
4939
0.0742541
4936
0.0741749
5025
0.0740958
4891
0.0740169
4878
0.0739381
4896
0.0738594
4930
0.0737809
4773
0.0737025
4630
0.0736243
4706
0.0735462
4607
0.0734683
4597
0.0733905
4695
0.0733128
4754
0.0732353
4746
0.0731579
4858
0.0730807
5050
0.0730036
5973
0.0729266
7900
0.0728498
8136
0.0727731
6161
0.0726965
4915
0.0726201
4673
0.0725439
4520
0.0724677
4581
0.0723917
4680
0.0723159
4623
0.0722401
4912
0.0721646
5061
0.0720891
5056
0.0720138
5110
0.0719386
5074
0.0718636
4869
0.0717886
4765
0.0717139
4661
0.0716392
4624
0.0715647
4675
0.0714903
4555
0.0714161
4531
0.071342
4581
0.071268
4570
0.0711941
4694
0.0711204
4771
0.0710468
5174
0.0709733
5849
0.0709
7463
0.0708268
8887
0.0707537
7927
0.0706808
5760
0.070608
4746
0.0705353
4423
0.0704627
4303
0.0703903
4257
0.070318
4315
0.0702458
4165
0.0701738
4117
0.0701019
4141
0.0700301
4197
0.0699584
4312
0.0698869
4456
0.0698154
4725
0.0697441
4633
0.069673
4524
0.0696019
4634
0.069531
4616
0.0694602
4460
0.0693896
4423
0.069319
4421
0.0692486
4390
0.0691783
4265
0.0691081
4274
0.069038
4158
0.0689681
4103
0.0688983
4018
0.0688286
4033
0.068759
4416
0.0686896
5698
0.0686202
8918
0.068551
9061
0.0684819
5322
0.0684129
4535
0.0683441
4649
0.0682753
4795
0.0682067
5059
0.0681382
5122
0.0680698
5198
0.0680016
5216
0.0679334
5036
0.0678654
4663
0.0677975
4406
0.0677297
3934
0.067662
3731
0.0675944
3725
0.067527
3556
0.0674597
3475
0.0673924
3602
0.0673253
3898
0.0672583
4637
0.0671915
6418
0.0671247
8014
0.067058
7683
0.0669915
8166
0.0669251
10387
0.0668588
10754
0.0667926
7070
0.0667265
3957
0.0666605
2567
0.0665947
1970
0.0665289
1677
0.0664633
1471
0.0663977
1383
0.0663323
1224
0.066267
1176
0.0662018
1158
0.0661367
1079
0.0660718
1089
0.0660069
1022
0.0659421
1012
0.0658775
1002
0.0658129
1040
0.0657485
1064
0.0656842
1075
0.06562
1048
0.0655559
1071
0.0654919
1018
0.065428
1016
0.0653642
1041
0.0653005
1032
0.0652369
1074
0.0651735
1032
0.0651101
982
0.0650468
1120
0.0649837
1125
0.0649206
1059
0.0648577
1072
0.0647949
1121
0.0647321
1117
0.0646695
1056
0.064607
1111
0.0645445
1153
0.0644822
1121
0.06442
1163
0.0643579
1100
0.0642959
1108
0.064234
1293
0.0641722
1117
0.0641105
1131
0.0640489
1175
0.0639874
1187
0.063926
1224
0.0638647
1254
0.0638035
1276
0.0637424
1331
0.0636814
1246
0.0636205
1306
0.0635597
1292
0.063499
1283
0.0634384
1375
0.0633779
1352
0.0633175
1360
0.0632572
1346
0.063197
1275
0.0631369
1408
0.0630768
1317
0.0630169
1284
0.0629571
1274
0.0628974
1300
0.0628378
1449
0.0627783
1501
0.0627188
1588
0.0626595
1675
0.0626003
1870
0.0625411
2120
0.0624821
2239
0.0624232
2194
0.0623643
2079
0.0623056
1795
0.0622469
1639
0.0621883
1488
0.0621299
1365
0.0620715
1187
0.0620132
1161
0.061955
1034
0.0618969
986
0.0618389
1001
0.061781
1012
0.0617232
1190
0.0616655
1216
0.0616078
1962
0.0615503
5813
0.0614928
10964
0.0614355
4703
0.0613782
828
0.061321
473
0.061264
389
0.061207
364
0.0611501
357
0.0610933
347
0.0610365
405
0.0609799
422
0.0609234
420
0.0608669
377
0.0608106
442
0.0607543
498
0.0606981
432
0.060642
463
0.060586
511
0.0605301
441
0.0604743
328
0.0604186
174
0.0603629
45
0.0603073

GaP <111> exposed fract. bulk, 1 min 3KV etch 90T
2003
5
10
13
58
47
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
25
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
2
4.00E-06
0
0
0
0
402
46
3349
0.100746
0.101539
194
0.101539
205
0.101535
199
0.101531
182
0.101527
197
0.101523
217
0.101519
195
0.101515
172
0.101511
196
0.101507
190
0.101503
193
0.101499
187
0.101495
192
0.101491
193
0.101487
222
0.101483
216
0.101479
192
0.101475
214
0.101471
208
0.101467
197
0.101463
183
0.101459
205
0.101455
193
0.101451
220
0.101447
207
0.101443
212
0.101439
210
0.101435
179
0.101431
201
0.101427
202
0.101423
213
0.101419
227
0.101415
224
0.101411
200
0.101407
222
0.101403
224
0.101399
235
0.101395
228
0.101391
243
0.101387
215
0.101383
213
0.101379
225
0.101375
230
0.101371
248
0.101367
249
0.101363
233
0.101359
222
0.101355
237
0.101351
226
0.101347
232
0.101343
248
0.101339
232
0.101335
215
0.101331
215
0.101327
209
0.101323
240
0.101319
215
0.101315
218
0.101312
260
0.101308
199
0.101304
233
0.1013
227
0.101296
228
0.101292
213
0.101288
266
0.101284
237
0.10128
244
0.101276
237
0.101272
261
0.101268
225
0.101264
235
0.10126
256
0.101256
220
0.101252
259
0.101248
233
0.101244
260
0.10124
261
0.101236
286
0.101232
259
0.101228
261
0.101224
261
0.10122
282
0.101216
305
0.101212
312
0.101208
318
0.101204
334
0.1012
311
0.101196
340
0.101192
337
0.101188
370
0.101184
431
0.10118
440
0.101176
425
0.101172
474
0.101168
470
0.101165
599
0.101161
621
0.101157
643
0.101153
728
0.101149
858
0.101145
938
0.101141
1024
0.101137
1209
0.101133
1285
0.101129
1372
0.101125
1543
0.101121
1741
0.101117
1925
0.101113
2017
0.101109
2288
0.101105
2456
0.101101
2689
0.101097
2822
0.101093
2890
0.101089
3046
0.101085
3168
0.101081
3229
0.101077
3281
0.101073
3349
0.101069
3228
0.101065
3348
0.101061
3152
0.101058
3203
0.101054
3064
0.10105
2919
0.101046
2711
0.101042
2607
0.101038
2414
0.101034
2247
0.10103
2097
0.101026
1990
0.101022
1696
0.101018
1419
0.101014
1296
0.10101
1126
0.101006
1042
0.101002
845
0.100998
706
0.100994
635
0.10099
528
0.100986
480
0.100982
411
0.100978
346
0.100974
318
0.10097
261
0.100967
249
0.100963
201
0.100959
205
0.100955
175
0.100951
182
0.100947
155
0.100943
159
0.100939
124
0.100935
127
0.100931
103
0.100927
111
0.100923
118
0.100919
122
0.100915
114
0.100911
114
0.100907
92
0.100903
95
0.100899
91
0.100895
104
0.100891
96
0.100888
91
0.100884
96
0.10088
84
0.100876
72
0.100872
81
0.100868
66
0.100864
75
0.10086
92
0.100856
62
0.100852
71
0.100848
73
0.100844
73
0.10084
95
0.100836
68
0.100832
69
0.100828
52
0.100824
64
0.10082
77
0.100817
63
0.100813
46
0.100809
77
0.100805
54
0.100801
53
0.100797
61
0.100793
59
0.100789
70
0.100785
77
0.100781
62
0.100777
65
0.100773
66
0.100769
55
0.100765
73
0.100761
64
0.100757
52
0.100754
62
0.10075
57
0.100746

GaP <111> exposed fract. bulk, 1 min 3KV etch 90T
2003
5
10
13
58
47
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
135
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
2
4.00E-06
0
0
0
0
402
790
2493
0.110161
0.111099
839
0.111099
872
0.111094
890
0.111089
874
0.111085
908
0.11108
886
0.111075
875
0.11107
910
0.111066
837
0.111061
869
0.111056
878
0.111051
836
0.111047
871
0.111042
837
0.111037
842
0.111033
919
0.111028
885
0.111023
884
0.111018
876
0.111014
839
0.111009
845
0.111004
889
0.111
866
0.110995
860
0.11099
874
0.110985
884
0.110981
880
0.110976
857
0.110971
854
0.110967
827
0.110962
860
0.110957
846
0.110952
822
0.110948
809
0.110943
814
0.110938
889
0.110934
792
0.110929
790
0.110924
891
0.110919
867
0.110915
825
0.11091
876
0.110905
829
0.110901
812
0.110896
891
0.110891
854
0.110886
812
0.110882
888
0.110877
870
0.110872
885
0.110868
816
0.110863
853
0.110858
830
0.110853
851
0.110849
826
0.110844
888
0.110839
836
0.110835
835
0.11083
871
0.110825
886
0.110821
861
0.110816
882
0.110811
851
0.110806
804
0.110802
813
0.110797
851
0.110792
835
0.110788
852
0.110783
864
0.110778
852
0.110773
873
0.110769
920
0.110764
853
0.110759
840
0.110755
932
0.11075
873
0.110745
860
0.110741
886
0.110736
875
0.110731
911
0.110727
949
0.110722
864
0.110717
901
0.110712
940
0.110708
952
0.110703
989
0.110698
943
0.110694
987
0.110689
995
0.110684
1031
0.11068
1090
0.110675
1072
0.11067
1093
0.110665
1153
0.110661
1174
0.110656
1223
0.110651
1242
0.110647
1316
0.110642
1327
0.110637
1360
0.110633
1499
0.110628
1560
0.110623
1564
0.110619
1674
0.110614
1707
0.110609
1836
0.110605
1869
0.1106
1900
0.110595
2010
0.11059
2003
0.110586
2186
0.110581
2123
0.110576
2130
0.110572
2189
0.110567
2216
0.110562
2383
0.110558
2294
0.110553
2296
0.110548
2255
0.110544
2318
0.110539
2366
0.110534
2477
0.11053
2363
0.110525
2443
0.11052
2493
0.110516
2436
0.110511
2468
0.110506
2460
0.110501
2477
0.110497
2293
0.110492
2350
0.110487
2200
0.110483
2061
0.110478
2002
0.110473
1855
0.110469
1723
0.110464
1620
0.110459
1505
0.110455
1381
0.11045
1254
0.110445
1166
0.110441
1104
0.110436
1024
0.110431
1000
0.110427
999
0.110422
977
0.110417
935
0.110413
984
0.110408
948
0.110403
931
0.110399
908
0.110394
937
0.110389
869
0.110385
904
0.11038
829
0.110375
870
0.110371
875
0.110366
862
0.110361
892
0.110357
892
0.110352
878
0.110347
952
0.110343
859
0.110338
920
0.110333
882
0.110329
956
0.110324
930
0.110319
880
0.110315
963
0.11031
928
0.110305
951
0.110301
944
0.110296
981
0.110291
905
0.110287
959
0.110282
918
0.110277
951
0.110273
945
0.110268
973
0.110263
957
0.110259
926
0.110254
954
0.110249
1019
0.110245
938
0.11024
944
0.110235
902
0.110231
979
0.110226
905
0.110221
925
0.110217
977
0.110212
956
0.110207
970
0.110203
987
0.110198
973
0.110193
994
0.110189
926
0.110184
1018
0.11018
966
0.110175
1030
0.11017
1036
0.110166
1016
0.110161

GaP <111> exposed fract. bulk, 1 min 3KV etch 90T
2003
5
10
13
58
47
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
295
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
2
4.00E-06
0
0
0
0
802
698
892
0.125986
0.128421
795
0.128421
706
0.128414
768
0.128408
699
0.128402
741
0.128396
794
0.12839
748
0.128383
788
0.128377
736
0.128371
783
0.128365
763
0.128359
784
0.128352
717
0.128346
799
0.12834
743
0.128334
715
0.128328
789
0.128321
769
0.128315
802
0.128309
795
0.128303
766
0.128297
787
0.128291
811
0.128284
767
0.128278
743
0.128272
757
0.128266
741
0.12826
719
0.128253
791
0.128247
760
0.128241
784
0.128235
775
0.128229
807
0.128223
756
0.128216
753
0.12821
699
0.128204
706
0.128198
739
0.128192
815
0.128185
783
0.128179
743
0.128173
728
0.128167
698
0.128161
776
0.128155
782
0.128148
766
0.128142
749
0.128136
873
0.12813
767
0.128124
773
0.128118
782
0.128111
809
0.128105
730
0.128099
768
0.128093
805
0.128087
751
0.128081
760
0.128074
760
0.128068
773
0.128062
755
0.128056
767
0.12805
793
0.128044
773
0.128037
765
0.128031
808
0.128025
740
0.128019
764
0.128013
787
0.128007
794
0.128
777
0.127994
734
0.127988
738
0.127982
757
0.127976
749
0.12797
803
0.127963
782
0.127957
793
0.127951
751
0.127945
758
0.127939
772
0.127933
779
0.127927
772
0.12792
768
0.127914
770
0.127908
761
0.127902
767
0.127896
780
0.12789
787
0.127884
807
0.127877
710
0.127871
728
0.127865
728
0.127859
805
0.127853
728
0.127847
781
0.12784
753
0.127834
783
0.127828
809
0.127822
737
0.127816
711
0.12781
729
0.127804
778
0.127797
789
0.127791
783
0.127785
798
0.127779
801
0.127773
801
0.127767
762
0.127761
796
0.127755
835
0.127748
774
0.127742
753
0.127736
768
0.12773
748
0.127724
780
0.127718
828
0.127712
819
0.127705
709
0.127699
701
0.127693
767
0.127687
786
0.127681
820
0.127675
814
0.127669
712
0.127663
767
0.127656
770
0.12765
759
0.127644
779
0.127638
792
0.127632
760
0.127626
808
0.12762
758
0.127614
759
0.127607
774
0.127601
786
0.127595
747
0.127589
747
0.127583
741
0.127577
728
0.127571
796
0.127565
806
0.127558
800
0.127552
792
0.127546
779
0.12754
779
0.127534
766
0.127528
759
0.127522
762
0.127516
765
0.127509
770
0.127503
786
0.127497
766
0.127491
763
0.127485
778
0.127479
805
0.127473
785
0.127467
774
0.127461
743
0.127454
778
0.127448
826
0.127442
768
0.127436
778
0.12743
834
0.127424
767
0.127418
745
0.127412
776
0.127406
725
0.127399
803
0.127393
840
0.127387
771
0.127381
811
0.127375
722
0.127369
761
0.127363
787
0.127357
824
0.127351
790
0.127345
785
0.127338
806
0.127332
773
0.127326
798
0.12732
764
0.127314
751
0.127308
787
0.127302
768
0.127296
813
0.12729
832
0.127284
757
0.127277
769
0.127271
770
0.127265
778
0.127259
822
0.127253
749
0.127247
776
0.127241
813
0.127235
782
0.127229
824
0.127223
834
0.127217
743
0.12721
857
0.127204
815
0.127198
855
0.127192
780
0.127186
818
0.12718
808
0.127174
778
0.127168
803
0.127162
833
0.127156
874
0.12715
811
0.127144
892
0.127137
813
0.127131
824
0.127125
799
0.127119
799
0.127113
806
0.127107
845
0.127101
786
0.127095
846
0.127089
751
0.127083
805
0.127077
782
0.127071
801
0.127065
814
0.127058
746
0.127052
779
0.127046
819
0.12704
815
0.127034
780
0.127028
726
0.127022
790
0.127016
754
0.12701
749
0.127004
780
0.126998
765
0.126992
809
0.126986
775
0.12698
757
0.126973
766
0.126967
760
0.126961
803
0.126955
800
0.126949
786
0.126943
795
0.126937
776
0.126931
837
0.126925
820
0.126919
845
0.126913
786
0.126907
817
0.126901
783
0.126895
783
0.126889
810
0.126883
809
0.126876
750
0.12687
777
0.126864
756
0.126858
741
0.126852
779
0.126846
838
0.12684
788
0.126834
755
0.126828
769
0.126822
749
0.126816
765
0.12681
782
0.126804
750
0.126798
787
0.126792
760
0.126786
781
0.12678
795
0.126774
816
0.126768
791
0.126761
779
0.126755
757
0.126749
809
0.126743
806
0.126737
809
0.126731
794
0.126725
783
0.126719
758
0.126713
823
0.126707
771
0.126701
749
0.126695
808
0.126689
826
0.126683
774
0.126677
753
0.126671
822
0.126665
768
0.126659
762
0.126653
847
0.126647
788
0.126641
794
0.126635
823
0.126629
748
0.126622
819
0.126616
825
0.12661
790
0.126604
792
0.126598
777
0.126592
794
0.126586
798
0.12658
794
0.126574
808
0.126568
768
0.126562
837
0.126556
759
0.12655
793
0.126544
790
0.126538
780
0.126532
789
0.126526
783
0.12652
762
0.126514
768
0.126508
788
0.126502
837
0.126496
796
0.12649
788
0.126484
751
0.126478
854
0.126472
813
0.126466
860
0.12646
787
0.126454
828
0.126448
784
0.126442
787
0.126436
801
0.12643
811
0.126424
830
0.126418
857
0.126412
862
0.126406
803
0.1264
839
0.126394
782
0.126388
769
0.126381
795
0.126375
789
0.126369
797
0.126363
813
0.126357
844
0.126351
792
0.126345
764
0.126339
767
0.126333
829
0.126327
754
0.126321
789
0.126315
840
0.126309
812
0.126303
763
0.126297
823
0.126291
782
0.126285
853
0.126279
849
0.126273
773
0.126267
822
0.126261
754
0.126255
791
0.126249
792
0.126243
821
0.126237
741
0.126231
774
0.126225
796
0.126219
834
0.126213
814
0.126207
833
0.126201
828
0.126195
777
0.126189
810
0.126183
835
0.126177
779
0.126171
840
0.126165
839
0.126159
776
0.126153
817
0.126147
816
0.126141
790
0.126135
820
0.126129
785
0.126123
767
0.126117
796
0.126111
822
0.126105
783
0.126099
799
0.126093
765
0.126087
838
0.126081
813
0.126075
837
0.126069
783
0.126063
740
0.126058
832
0.126052
766
0.126046
812
0.12604
823
0.126034
819
0.126028
817
0.126022
839
0.126016
814
0.12601
827
0.126004
830
0.125998
784
0.125992
823
0.125986

GaP <111> exposed fract. bulk, 1 min 3KV etch 90T
2003
5
10
13
58
47
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
540
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
2
4.00E-06
0
0
0
0
802
3243
3804
0.163362
0.167337
3337
0.167337
3305
0.167327
3322
0.167317
3386
0.167307
3373
0.167297
3243
0.167287
3387
0.167276
3297
0.167266
3375
0.167256
3365
0.167246
3368
0.167236
3394
0.167226
3313
0.167216
3367
0.167205
3460
0.167195
3319
0.167185
3449
0.167175
3288
0.167165
3280
0.167155
3334
0.167144
3295
0.167134
3444
0.167124
3332
0.167114
3395
0.167104
3361
0.167094
3335
0.167084
3345
0.167074
3389
0.167063
3327
0.167053
3307
0.167043
3399
0.167033
3326
0.167023
3306
0.167013
3388
0.167003
3334
0.166992
3336
0.166982
3333
0.166972
3410
0.166962
3293
0.166952
3374
0.166942
3316
0.166932
3338
0.166922
3465
0.166911
3468
0.166901
3446
0.166891
3423
0.166881
3350
0.166871
3301
0.166861
3390
0.166851
3373
0.166841
3445
0.166831
3355
0.16682
3405
0.16681
3402
0.1668
3377
0.16679
3489
0.16678
3301
0.16677
3386
0.16676
3502
0.16675
3284
0.16674
3386
0.16673
3530
0.166719
3397
0.166709
3437
0.166699
3339
0.166689
3417
0.166679
3458
0.166669
3455
0.166659
3365
0.166649
3487
0.166639
3440
0.166629
3419
0.166619
3441
0.166609
3268
0.166598
3461
0.166588
3444
0.166578
3424
0.166568
3426
0.166558
3459
0.166548
3586
0.166538
3492
0.166528
3425
0.166518
3448
0.166508
3483
0.166498
3532
0.166488
3399
0.166478
3404
0.166467
3352
0.166457
3468
0.166447
3427
0.166437
3582
0.166427
3467
0.166417
3553
0.166407
3554
0.166397
3522
0.166387
3430
0.166377
3409
0.166367
3541
0.166357
3576
0.166347
3544
0.166337
3526
0.166327
3479
0.166317
3559
0.166307
3585
0.166297
3529
0.166286
3575
0.166276
3604
0.166266
3529
0.166256
3493
0.166246
3512
0.166236
3435
0.166226
3455
0.166216
3628
0.166206
3552
0.166196
3466
0.166186
3455
0.166176
3432
0.166166
3469
0.166156
3567
0.166146
3585
0.166136
3531
0.166126
3447
0.166116
3696
0.166106
3532
0.166096
3609
0.166086
3649
0.166076
3518
0.166066
3542
0.166056
3486
0.166046
3497
0.166036
3498
0.166026
3540
0.166016
3537
0.166006
3586
0.165996
3482
0.165986
3519
0.165976
3595
0.165966
3487
0.165956
3544
0.165946
3575
0.165936
3557
0.165926
3611
0.165916
3573
0.165906
3586
0.165896
3595
0.165886
3580
0.165876
3495
0.165866
3618
0.165856
3645
0.165846
3635
0.165836
3558
0.165826
3638
0.165816
3687
0.165806
3686
0.165796
3645
0.165786
3570
0.165776
3600
0.165766
3525
0.165756
3579
0.165746
3586
0.165736
3601
0.165726
3567
0.165716
3545
0.165706
3606
0.165696
3617
0.165686
3679
0.165676
3562
0.165666
3606
0.165656
3670
0.165646
3525
0.165636
3588
0.165626
3620
0.165616
3552
0.165606
3589
0.165596
3555
0.165586
3761
0.165576
3587
0.165566
3590
0.165556
3624
0.165546
3736
0.165536
3804
0.165526
3592
0.165516
3592
0.165506
3600
0.165496
3532
0.165486
3638
0.165476
3688
0.165467
3684
0.165457
3600
0.165447
3609
0.165437
3664
0.165427
3538
0.165417
3628
0.165407
3568
0.165397
3507
0.165387
3582
0.165377
3586
0.165367
3692
0.165357
3559
0.165347
3551
0.165337
3501
0.165327
3614
0.165317
3544
0.165307
3602
0.165297
3587
0.165288
3674
0.165278
3559
0.165268
3571
0.165258
3516
0.165248
3615
0.165238
3484
0.165228
3609
0.165218
3573
0.165208
3520
0.165198
3588
0.165188
3682
0.165178
3605
0.165168
3592
0.165159
3665
0.165149
3613
0.165139
3634
0.165129
3495
0.165119
3580
0.165109
3644
0.165099
3718
0.165089
3623
0.165079
3631
0.165069
3578
0.165059
3520
0.165049
3545
0.16504
3549
0.16503
3626
0.16502
3701
0.16501
3707
0.165
3572
0.16499
3534
0.16498
3545
0.16497
3628
0.16496
3623
0.16495
3612
0.164941
3493
0.164931
3520
0.164921
3587
0.164911
3559
0.164901
3518
0.164891
3587
0.164881
3514
0.164871
3633
0.164861
3600
0.164852
3549
0.164842
3601
0.164832
3549
0.164822
3576
0.164812
3550
0.164802
3585
0.164792
3619
0.164782
3553
0.164773
3600
0.164763
3575
0.164753
3579
0.164743
3552
0.164733
3642
0.164723
3564
0.164713
3626
0.164703
3634
0.164694
3570
0.164684
3482
0.164674
3566
0.164664
3610
0.164654
3524
0.164644
3584
0.164634
3594
0.164625
3635
0.164615
3626
0.164605
3491
0.164595
3689
0.164585
3512
0.164575
3638
0.164565
3579
0.164556
3591
0.164546
3489
0.164536
3601
0.164526
3459
0.164516
3568
0.164506
3645
0.164496
3607
0.164487
3564
0.164477
3579
0.164467
3592
0.164457
3595
0.164447
3632
0.164437
3638
0.164428
3538
0.164418
3557
0.164408
3595
0.164398
3609
0.164388
3584
0.164378
3540
0.164369
3509
0.164359
3614
0.164349
3599
0.164339
3559
0.164329
3489
0.164319
3513
0.16431
3575
0.1643
3657
0.16429
3634
0.16428
3678
0.16427
3512
0.164261
3588
0.164251
3659
0.164241
3596
0.164231
3528
0.164221
3610
0.164211
3660
0.164202
3549
0.164192
3538
0.164182
3660
0.164172
3622
0.164162
3649
0.164153
3636
0.164143
3561
0.164133
3612
0.164123
3719
0.164113
3663
0.164104
3604
0.164094
3606
0.164084
3643
0.164074
3619
0.164064
3576
0.164055
3632
0.164045
3655
0.164035
3664
0.164025
3652
0.164015
3557
0.164006
3578
0.163996
3522
0.163986
3632
0.163976
3553
0.163966
3611
0.163957
3731
0.163947
3596
0.163937
3638
0.163927
3714
0.163918
3679
0.163908
3579
0.163898
3625
0.163888
3502
0.163878
3692
0.163869
3579
0.163859
3626
0.163849
3639
0.163839
3613
0.16383
3709
0.16382
3672
0.16381
3606
0.1638
3630
0.163791
3686
0.163781
3583
0.163771
3581
0.163761
3595
0.163751
3631
0.163742
3604
0.163732
3734
0.163722
3580
0.163712
3566
0.163703
3654
0.163693
3754
0.163683
3673
0.163673
3618
0.163664
3613
0.163654
3606
0.163644
3579
0.163634
3624
0.163625
3740
0.163615
3625
0.163605
3582
0.163595
3746
0.163586
3764
0.163576
3722
0.163566
3544
0.163556
3579
0.163547
3638
0.163537
3646
0.163527
3725
0.163517
3585
0.163508
3752
0.163498
3699
0.163488
3656
0.163479
3654
0.163469
3760
0.163459
3682
0.163449
3609
0.16344
3756
0.16343
3687
0.16342
3656
0.16341
3674
0.163401
3676
0.163391
3742
0.163381
3745
0.163372
3587
0.163362
end of experiment
